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INFICONIC6

INFICONModeLock技術確保獲得最高、最穩定的速率和厚度測量分辨率,即使在速率極低的情況下
AutoZ技術通過自動測定沈積材料的Z比值,提高厚度測量的精度
一個IC6即可同時、單獨或以任何組合方式控制最多6個來源,無需使用兩個或三個控制器
彩色TFTLCD顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
10Hz測量
100ms樣本速率下頻率範圍爲+/-0.0035Hz
USB數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
多個源厚度合計功能
測量低密度、低速率材料的平均速率(使用稳定源的低速率OLED摻雜材料沈積最多30秒)
速率顯示分辨率可達0.001/s
4XIU選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜
無沈積控制允許持續控制源,因爲基片可以通過沈積室不斷循環
6個標准DAC輸出和另外6個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監控

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